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屈新萍

系别: 微电子学院
职称: 教授 博导
职务: 信息学院副书记
办公室: 物理楼148室,微电子楼310室
电话: 021-65643561,65643159
E-mail: xpqu@fudan.edu.cn
主页: http://sme.fudan.edu.cn/faculty/personweb/quxinping/index.htm#_CURRICULUM
   
教育背景
   华中理工大学(现华中科技大学)固体电子学系   本科学生
   中科院上海硅酸盐研究所   硕士研究生
   复旦大学电子工程系   博士研究生
3/1/2000至3/1/2001   比利时根特大学固态科学系   博士后
研究方向
微电子学材料、工艺与器件;纳米加工技术和纳电子器件;薄膜晶体管
课程教学
本科课程:半导体物理
研究生课程:电子薄膜材料测试表征
学术兼职
IEEE高级会员
ECS会员
欧洲Elsevier,IOP等杂志审稿人
科研项目
国家863项目:新型纳米压印技术及开发
上海市科委国际合作项目:先进铜互连中的籽晶层/扩散阻挡层研究
上海市科技启明星跟踪项目:新型纳米压印制备平面手性纳米结构
国家973项目子课题:新型互连基础研究
论文著作
1.,,,,
2.J. Vac. Sci. Technol, Duplication of nanoimprint templates by a novel SU-8/SiO2/ PMMA trilayer technique,,B 27(1),19-22
3.Applied Physics A, The effect of pre-annealing of sputtered ZnO seed layers on growth of ZnO nanorods through a hydrothermal method,,94(4),
4.J. Electrochem. Soc. 155, H688-H692, Growth Kinetics and Crystallization Behavior of TiO2 Films Prepared by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition,,,
5.Oral presentation at MAM-2008 conference, March, 2-5, 2008, Dresden, Microelectronic Engineering 85,Cu contact on NiSi substrate with a Ta/TaN barrier stack,,, 2028-2031
6.Microelectronic Engineering ,Diffusion barrier properties of TaNx films prepared by plasma enhanced atomic layer deposition from PDMAT with N2 or NH3 plasma,,,2059-2063
7.J. Appl. Phys. 102, 083521 ,Atomic layer deposition of TiO2 from tetrakis-dimethyl-amido titanium or Ti isopropoxide precursors and H2O,,,
8.Appl. Phys. Lett., 88, 151912 , Improved barrier properties of ultrathin Ru film with TaN interlayer for copper metallization,,,
9.J. Vac. Sci. Tech.A 24, 20 ,Investigation of Ni reaction with sputtered SiGe thin film on SiO2 substrate,,,
10.Microelectronic Engineering, 83,236 ,Study of Ultrathin Vanadium Nitride as diffusion barrier for copper interconnect,,,
11.Thin Solid films,The properties of Ruthenium on Ta-based barriers ,,,231-234
12. Applied Surface Science,Superior thermal stability of Ta/TaN bi-layer structure for copper metallization,,,1666-1672
获奖情况
教育部科技进步三等奖
2002----入选复旦大学“世纪之星”计划,获得“教学和科研综合奖”
2005----评为“复旦大学优秀世纪之星”
2003----入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”,结题评优
2004----入选上海市科委“科技启明星”人才项目
2008----上海市科委“启明星跟踪”人才项目
教育部科技进步三等奖
2002----入选复旦大学“世纪之星”计划,获得“教学和科研综合奖”
2005----评为“复旦大学优秀世纪之星”
2003----入选上海市教育委员会评选的“2003年度上海高校优秀青年教师后备人选”,结题评优
2004----入选上海市科委“科技启明星”人才项目
2008----上海市科委“启明星跟踪”人才项目
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